准分子激光气技术指标如下： 
产品编号      平衡气            产品编号组分气及混合范围                机型 
ELG-X          Ne                  F₂ 0.1-0.25% Ar 3-5%                         Ⅰ型 
ELG-V          He                  F₂ 0.2-0.3% Ar 9-11% Ne 20-30%      Ⅱ型 
ELG-C-1      Ne                  F₂ 0.1-0.2% Ar 1-3% He 2-3%             Ⅲ-1型 
ELG-C-2      Ne                  Ar 5-8% He 2-4%                                   Ⅲ-2型 
ELG-S-1      Ne                  F₂ 0.1-0.3% Ar 5-8%                            Ⅳ-1型 
ELG-S-2      Ne                  F₂ 0.1-0.3% Ar 5-8% He 2-4%             Ⅳ-2型 
ELG-N         Ne                  F₂ 0.2-0.4% Ar 6-10% He 25-32%      Ⅴ型 
ELG-B          Ne                 F₂ 0.1-0.4% Ar 3-10 He 3-25%             Ⅵ型 
ELG-L          Ne                 F₂ 1-0.3% Ar 2-8% He 5-12%               Ⅶ型 
ELG-SC       Ne                F₂ 1-0.3% Ar 2-10% He 3-8%                Ⅷ型